本報訊(中國青年報·中青在線記者 邱晨輝)記者從中國科學(xué)院獲悉,11月11日,由該院長春光機所承擔(dān)的國家重大科研裝備研制項目“大型高精度衍射光柵刻劃系統(tǒng)的研制”(以下稱光柵項目)順利通過驗收。這標(biāo)志著我國大面積高精度光柵制造的相關(guān)技術(shù)已達(dá)到國際水平,結(jié)束了我國在高精度大尺寸光柵制造領(lǐng)域受制于人的局面。
衍射光柵,是一種精密光學(xué)元件,在信息存儲、新能源等諸多領(lǐng)域中具有重要應(yīng)用。光柵項目負(fù)責(zé)人、中科院長春光機所研究員唐玉國說,光柵的面積大可獲得高集光率和分辨本領(lǐng),光柵的精度高可獲得更好的信噪比,同時將光柵“做大”和“做精”則屬于世界性難題。隨著科技的發(fā)展,大面積高精度的中階梯光柵,已經(jīng)成為制約我國相關(guān)領(lǐng)域技術(shù)發(fā)展的“短板”。
2008年,在中科院和財政部共同支持下,長春光機所開始了光柵項目工作,目標(biāo)就是研制一臺刻劃面積屬世界之最、技術(shù)水平達(dá)國際領(lǐng)先的大型高精度衍射光柵刻劃機。
光柵刻劃機是制作光柵的母機,因部件的加工裝調(diào)精度之難,運行保障環(huán)境要求之高,被譽為“精密機械之王”。唐玉國說,該項目研制的光柵刻劃機,幾乎所有關(guān)鍵部件都沖擊世界“極限”水平。研制期間,項目組突破了一系列核心高精度零件的加工制造技術(shù)。
按照唐玉國的說法,經(jīng)過8年艱苦攻關(guān),他所在的項目組共攻克18項關(guān)鍵技術(shù),取得9項創(chuàng)新性成果,研制出一套大型高精度光柵刻劃系統(tǒng),并成功研制出面積達(dá)400mm×500mm的世界上面積最大的中階梯光柵。當(dāng)天進行項目驗收的評審專家認(rèn)為光柵刻劃系統(tǒng)和光柵都達(dá)到了項目實施方案的技術(shù)指標(biāo),一致同意項目通過驗收。